2025年9月18日，一名男子走入ASML在德国柏林开办的一家生产芯片工厂。（Sean Gallup/Getty Images）
【中国观察北京时间2025年10月21日讯】中国某芯片企业疑似通过逆向工程尝试制造山寨光刻机，技术人员私自拆解一台阿斯麦（ASML）制造的DUV设备后，因无法复原而向荷兰制造商求助，却遭对方技术团队识破真相。
美国外交杂志《国家利益》高级编辑布兰登·魏切特（Brandon Weichert）10月18日在X平台披露，该企业近期用于芯片生产的DUV设备出现故障，致电ASML请求维修。荷兰技术人员抵达现场后发现，机器内部多个关键模块错位、镜片划伤、真空腔体密封失效，甚至部分传感器被错误接线烧毁。这些异常现象表明，设备损坏并非自然老化所致。
据公众号“极道”10月20日披露，ASML光刻机内部包含上千个高精度光学、流体与控制模块，许多部件由多国联合制造，设计严密且不可逆。若强行拆解，关键部件会自动锁死。技术人员判断，这并非普通故障，而是中方人员拆解不当导致的损坏。
魏切特分析称，中企技术人员拆卸早期ASML DUV光刻机，意图通过逆向工程研发更先进设备，但显然未能成功。他质疑ASML是否会履行维修协议，认为中国企业的不当行为可能让合约失效。该事件折射出中国在半导体先进制程领域的技术困境。
由于美国政府对中共实施半导体技术制裁，荷兰ASML已停止向中国企业出售最先进EUV设备，并收紧DUV供应。在中美科技战持续升温背景下，这起事件凸显了中方在高端芯片制造领域的焦虑与挑战。