6月19日，芯片设备制造商阿斯麦（ASML）否认向中国运送过极紫外（EUV）光刻机。图为荷兰半导体巨头ASML公司在德国柏林一栋办公大楼上悬挂的公司标志。（Sean Gallup/Getty Images）
【中国观察北京时间2026年06月20日讯】芯片设备制造商阿斯麦（ASML）周五明确表示，公司从未向中国运送过极紫外（EUV）光刻机。此前有报道称，美国官员担忧该公司最先进的工具之一可能已流入中国。
彭博新闻社报道称，美国商务部长卢特尼克（Howard Lutnick）曾表达担忧，认为阿斯麦的极紫外光刻机可能已流入中国，违反了美国主导的出口限制。对此，阿斯麦在声明中坚决反驳："阿斯、麦从未向中国运送过任何一台EUV光刻机，也从未向中国运送过专门设计用于极紫外光刻机的任何组件、模块或设备。"公司强调，其"一直根据出口管制的任何新变化来调整其业务，以遵守任何新规则"。
据悉，阿斯麦最先进的极紫外系统体型大约相当于一辆校车，重达180吨。
针对此番风波，荷兰外交部在给路透社的声明中支持阿斯麦，表示在半导体设备出口方面，荷兰根据《欧盟两用物项条例》及额外的国家措施，执行明确的规则和管制清单，所有相关设备和技术都需要获得许可证，且官方执行非常严格。
华盛顿方面的焦虑由来已久。今年4月，美国提出了一项法案，要求盟友与本国的出口管制保持一致，以限制中国制造先进半导体的能力，该立法中明确点名了阿斯麦制造的设备。
而路透社曾于去年12月报道称，中国科学家已经研制出了一台极紫外光刻机的原型机，这个研发团队的骨干成员包括一直由前阿斯麦工程师组成的团队。
报道说，这些成熟技术人员的加入，极大地加速了中国本土光刻机技术的迭代。此前，中国只能制造较落后的深紫外光刻机，而最先进的、用于制造3nm/5nm芯片的极紫外光刻机被美国和荷兰联合全面封锁。